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发布日期:2024-07-07 04:12    点击次数:149

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IT之家 5 月 30 日音讯,跟着 DRAM 袖珍化的握住激动,SK 海力士、三星电子等公司正在竭力于新材料的树立和诓骗。

据 TheElec,SK Hynix 打算在第 6 代(1c 工艺,约 10nm)DRAM 的分娩中使用 Inpria 下一代金属氧化物光刻胶(MOR),这是 MOR 初次诓骗于 DRAM 量产工艺。

音讯东谈主士称,SK Hynix 量产的 1c DRAM 上有五个极紫外 (EUV) 层,其中一层将使用 MOR 绘画。他还补充说,“不仅 SK 海力士,三星电子也将追求这类无机 PR 材料。”

IT之家查询公开贵府获悉,Inpria 是日本化学公司 JSR 的子公司,亦然无机光刻胶领域的指示者;而 MOR 则被以为是现在用于先进芯片光刻的化学放大光刻胶(CAR)的下一代居品。

此外,该公司自 2022 年以来就一直与 SK Hynix 配合进行 MOR 接头。SK Hynix 此前曾暗示,使用 Sn(基)氧化物光刻胶将有助于提上下一代 DRAM 的性能并缩短资本。

TheElec 报谈还指出,三星电子也在探求将 MOR 诓骗于 1c DRAM,现在三星电子在 1c DRAM 上诓骗了 6 至 7 个 EUV 层,而好意思光则只诓骗了 1 层。

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《音讯称三星打算量产的 1c DRAM 使用 MOR 光刻胶》

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